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金融界2025年5月5日音讯,国家知识产权局信息数据显现,安集微电子科技(上海)股份有限公司请求...
金融界2025年5月5日音讯,国家知识产权局信息数据显现,安集微电子科技(上海)股份有限公司请求一项名为“一种蚀刻组合物及其用处”的专利,公开号CN119913513A,请求日期为2023年10月。
专利摘要显现,本发明供给了一种蚀刻组合物,包含水,有机溶剂,表面活性剂和酸。选用上述技能计划后,能轻松完成对Co的可调理蚀刻,使其蚀刻速率可调理,以合作不同的出产需求;一起与TiN、Ti、SiO2、SiN等资料具有较好的相容性,且工艺操作窗口大,具有宽广的使用远景。
天眼查资料显现,安集微电子科技(上海)股份有限公司,成立于2006年,坐落上海市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12921.3274万人民币。经过天眼查大数据分析,安集微电子科技(上海)股份有限公司共对外出资了12家企业,参加招投标项目29次,专利信息226条,此外企业还具有行政许可86个。
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安集微电子请求蚀刻组合物及其用处专利完成对Co的可调理蚀刻
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